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              儀器設備

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              中文名稱:白光相干相關輪廓測量儀

              型號規格:CCI 6000

              負責人:王久洪

              E-mail:jhw@mail.xjtu.edu.cn

              生產廠商:Taylor Hobson,英國

              機器狀態:正常

              對外服務:

              聯系電話:029-83395005

              所在地點:曲江校區西五樓潔凈室

              設備預約

              主要性能指標:

              Z軸分辨率:0.01nm,不確定度17nm,因子k=2 Z軸量程:100微米 量測范圍(x*y) 0.36mm*0.36mm到1.8mm*1.8mm, 可水平方位拼接。 被測物體反射率:0.5﹪到100﹪ 常用附件:10,20,50倍光學鏡頭 注意事項:樣品重量不能超過1kg。

              主要功能:

              主要用途:Mems微小尺寸計算,物體表面三維形貌,物體表面粗糙度 主要應用領域:MEMS結構,金屬材料,復合材料,陶瓷材料等
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